中国惯性技术学报
中國慣性技術學報
중국관성기술학보
JOURNAL OF CHINESE INERTIAL TECHNOLOGY
2011年
3期
359-363
,共5页
王嫘%韩丰田%董景新%刘云峰
王嫘%韓豐田%董景新%劉雲峰
왕류%한봉전%동경신%류운봉
硅微加速度计%静电悬浮%体硅工艺%三轴加速等计
硅微加速度計%靜電懸浮%體硅工藝%三軸加速等計
규미가속도계%정전현부%체규공예%삼축가속등계
静电加速度计依靠可控静电力将敏感质量无接触地悬浮在电极腔内,在空间微重力环境下通过降低带宽和量程可以实现极高的分辨率.设计了一种采用玻璃硅-玻璃“三明治”结构、环形敏感质量、体硅加工工艺的三轴硅微静电加速度计,对加速度计的力/力矩平衡回路进行了分析.采用基于DSP的数字控制器,实现了环形敏感质量的五自由度稳定悬浮,在大气环境下测试了静电加速度计的性能.电测法测试结果表明静电加速度计的轴向量程4.22 g,噪声谱密度0.19 mg/Hz1/2;径向量程4.63 g,噪声谱密度0.44 mg/Hz1/2.
靜電加速度計依靠可控靜電力將敏感質量無接觸地懸浮在電極腔內,在空間微重力環境下通過降低帶寬和量程可以實現極高的分辨率.設計瞭一種採用玻璃硅-玻璃“三明治”結構、環形敏感質量、體硅加工工藝的三軸硅微靜電加速度計,對加速度計的力/力矩平衡迴路進行瞭分析.採用基于DSP的數字控製器,實現瞭環形敏感質量的五自由度穩定懸浮,在大氣環境下測試瞭靜電加速度計的性能.電測法測試結果錶明靜電加速度計的軸嚮量程4.22 g,譟聲譜密度0.19 mg/Hz1/2;徑嚮量程4.63 g,譟聲譜密度0.44 mg/Hz1/2.
정전가속도계의고가공정전력장민감질량무접촉지현부재전겁강내,재공간미중력배경하통과강저대관화량정가이실현겁고적분변솔.설계료일충채용파리규-파리“삼명치”결구、배형민감질량、체규가공공예적삼축규미정전가속도계,대가속도계적력/력구평형회로진행료분석.채용기우DSP적수자공제기,실현료배형민감질량적오자유도은정현부,재대기배경하측시료정전가속도계적성능.전측법측시결과표명정전가속도계적축향량정4.22 g,조성보밀도0.19 mg/Hz1/2;경향량정4.63 g,조성보밀도0.44 mg/Hz1/2.
