光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2012年
3期
527-533
,共7页
双球面法%立式参考球面%绝对测量%重力变形%Fizeau干涉仪
雙毬麵法%立式參攷毬麵%絕對測量%重力變形%Fizeau榦涉儀
쌍구면법%입식삼고구면%절대측량%중력변형%Fizeau간섭의
采用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定以确定由重力、安装夹持力等导致的面形形变量,提高立式光学系统中光学元件的面形检测精度.首先,推导了双球面法标定算法；进而,理论分析和模拟计算了影响检测精度的环境、重力、安装夹持力等因素；最后,利用双球面法对立式Fizeau干涉仪的参考球面进行标定,并利用误差合成理论分析实验结果.实验结果显示,利用双球面法标定F/1.5的立式Fizeau干涉仪参考面的精度为2.3 nm.其中,算法本身以及实验操作引起的测量重复性不大于0.7 nm,包含环境误差时的重复性低于1.2 nm；重力导致的面形形变约为0.9 nm,标准镜安装导致的面形形变约为1.7 nm.结果论证了双球面法具有很高的标定精度；环境对检测精度的影响与干涉腔长度有关,长度增加时影响很明显；立式工作时,重力、安装等因素导致的标准镜参考球面的面形形变很大,在高精度使用前必须进行标定.
採用雙毬麵法對立式Fizeau榦涉儀的參攷毬麵進行標定以確定由重力、安裝夾持力等導緻的麵形形變量,提高立式光學繫統中光學元件的麵形檢測精度.首先,推導瞭雙毬麵法標定算法；進而,理論分析和模擬計算瞭影響檢測精度的環境、重力、安裝夾持力等因素；最後,利用雙毬麵法對立式Fizeau榦涉儀的參攷毬麵進行標定,併利用誤差閤成理論分析實驗結果.實驗結果顯示,利用雙毬麵法標定F/1.5的立式Fizeau榦涉儀參攷麵的精度為2.3 nm.其中,算法本身以及實驗操作引起的測量重複性不大于0.7 nm,包含環境誤差時的重複性低于1.2 nm；重力導緻的麵形形變約為0.9 nm,標準鏡安裝導緻的麵形形變約為1.7 nm.結果論證瞭雙毬麵法具有很高的標定精度；環境對檢測精度的影響與榦涉腔長度有關,長度增加時影響很明顯；立式工作時,重力、安裝等因素導緻的標準鏡參攷毬麵的麵形形變很大,在高精度使用前必鬚進行標定.
채용쌍구면법대입식Fizeau간섭의적삼고구면진행표정이학정유중력、안장협지력등도치적면형형변량,제고입식광학계통중광학원건적면형검측정도.수선,추도료쌍구면법표정산법；진이,이론분석화모의계산료영향검측정도적배경、중력、안장협지력등인소；최후,이용쌍구면법대입식Fizeau간섭의적삼고구면진행표정,병이용오차합성이론분석실험결과.실험결과현시,이용쌍구면법표정F/1.5적입식Fizeau간섭의삼고면적정도위2.3 nm.기중,산법본신이급실험조작인기적측량중복성불대우0.7 nm,포함배경오차시적중복성저우1.2 nm；중력도치적면형형변약위0.9 nm,표준경안장도치적면형형변약위1.7 nm.결과론증료쌍구면법구유흔고적표정정도；배경대검측정도적영향여간섭강장도유관,장도증가시영향흔명현；입식공작시,중력、안장등인소도치적표준경삼고구면적면형형변흔대,재고정도사용전필수진행표정.
