润滑与密封
潤滑與密封
윤활여밀봉
LUBRICATION ENGINEERING
2008年
2期
87-89,108
,共4页
聂君兰%谷坤明%汤皎宁%刘力
聶君蘭%穀坤明%湯皎寧%劉力
섭군란%곡곤명%탕교저%류력
ECR镀膜%类金刚石薄膜%含金属碳膜%缓冲过渡层
ECR鍍膜%類金剛石薄膜%含金屬碳膜%緩遲過渡層
ECR도막%류금강석박막%함금속탄막%완충과도층
采用电子回旋微波等离子体气相沉积和磁控溅射法相结合的方法,通过石墨靶材和金属钛靶在不锈钢和Al2O3陶瓷基片上沉积了具有不同过渡层的含钛的C薄膜,研究了不同薄膜与衬底的中间层类型对薄膜的表面形貌、硬度、摩擦磨损性能、表面能的影响.结果表明,导电基底更有助于成膜的致密性和均匀性,薄膜为衬底/Ti/TiN/TiCN/C结构时硬度最高.
採用電子迴鏇微波等離子體氣相沉積和磁控濺射法相結閤的方法,通過石墨靶材和金屬鈦靶在不鏽鋼和Al2O3陶瓷基片上沉積瞭具有不同過渡層的含鈦的C薄膜,研究瞭不同薄膜與襯底的中間層類型對薄膜的錶麵形貌、硬度、摩抆磨損性能、錶麵能的影響.結果錶明,導電基底更有助于成膜的緻密性和均勻性,薄膜為襯底/Ti/TiN/TiCN/C結構時硬度最高.
채용전자회선미파등리자체기상침적화자공천사법상결합적방법,통과석묵파재화금속태파재불수강화Al2O3도자기편상침적료구유불동과도층적함태적C박막,연구료불동박막여츤저적중간층류형대박막적표면형모、경도、마찰마손성능、표면능적영향.결과표명,도전기저경유조우성막적치밀성화균균성,박막위츤저/Ti/TiN/TiCN/C결구시경도최고.
