纳米技术与精密工程
納米技術與精密工程
납미기술여정밀공정
NANOTECHNOLOGY AND PRECISION ENGINEERING
2007年
4期
351-354
,共4页
赖西湖%徐军%吴文刚%经光银%郝一龙
賴西湖%徐軍%吳文剛%經光銀%郝一龍
뢰서호%서군%오문강%경광은%학일룡
聚焦离子束%纳米螺旋%纳机电系统
聚焦離子束%納米螺鏇%納機電繫統
취초리자속%납미라선%납궤전계통
利用聚焦离子束(focused-ion-beam,FIB)刻蚀在纳米厚的单晶硅悬臂梁表面来制备三维纳米螺旋.单端固支的悬臂梁在FIB刻蚀引入的应力下卷曲,通过控制FIB应力引入的角度和间距,可制备出螺径在540-840 nm、螺距在1 780～2 160 nm间的系列三维纳米螺旋.利用原子力显微镜对纳米螺旋的机械特性进行了测量与研究.实验测得退火前与退火后的螺旋的横向弯曲弹性系数分别为40.74 N/m和16.45 N/m,而与之比较的单端悬臂梁的横向弯曲弹性系数在退火前后没有明显的变化.此外,在环境扫描显微镜中进行了螺旋的机构稳定性研究,实验发现FIB刻蚀制备的螺旋结构的稳定性很好.
利用聚焦離子束(focused-ion-beam,FIB)刻蝕在納米厚的單晶硅懸臂樑錶麵來製備三維納米螺鏇.單耑固支的懸臂樑在FIB刻蝕引入的應力下捲麯,通過控製FIB應力引入的角度和間距,可製備齣螺徑在540-840 nm、螺距在1 780～2 160 nm間的繫列三維納米螺鏇.利用原子力顯微鏡對納米螺鏇的機械特性進行瞭測量與研究.實驗測得退火前與退火後的螺鏇的橫嚮彎麯彈性繫數分彆為40.74 N/m和16.45 N/m,而與之比較的單耑懸臂樑的橫嚮彎麯彈性繫數在退火前後沒有明顯的變化.此外,在環境掃描顯微鏡中進行瞭螺鏇的機構穩定性研究,實驗髮現FIB刻蝕製備的螺鏇結構的穩定性很好.
이용취초리자속(focused-ion-beam,FIB)각식재납미후적단정규현비량표면래제비삼유납미라선.단단고지적현비량재FIB각식인입적응력하권곡,통과공제FIB응력인입적각도화간거,가제비출라경재540-840 nm、라거재1 780～2 160 nm간적계렬삼유납미라선.이용원자력현미경대납미라선적궤계특성진행료측량여연구.실험측득퇴화전여퇴화후적라선적횡향만곡탄성계수분별위40.74 N/m화16.45 N/m,이여지비교적단단현비량적횡향만곡탄성계수재퇴화전후몰유명현적변화.차외,재배경소묘현미경중진행료라선적궤구은정성연구,실험발현FIB각식제비적라선결구적은정성흔호.
