传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
4期
563-566
,共4页
王佳%钱梁%杨振川%闫桂珍
王佳%錢樑%楊振川%閆桂珍
왕가%전량%양진천%염계진
陀螺电学模型%CMOS-MEMS体硅陀螺%工艺误差%系统仿真
陀螺電學模型%CMOS-MEMS體硅陀螺%工藝誤差%繫統倣真
타라전학모형%CMOS-MEMS체규타라%공예오차%계통방진
体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求.通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真.通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计.
體硅MEMS和CMOS電路的單片集成技術是提高傳感器性能的有效途徑,但是集成技術會對陀螺的設計和CMOS電路的設計提齣更高的要求.通過建立CMOS-MEMS體硅陀螺的等效電學模型,實現瞭對CMOS-MEMS體硅陀螺的繫統級倣真.通過繫統倣真,陀螺的結構部分、電路部分、集成產生的寄生效應以及工藝誤差得到瞭有效的分析,從而能夠瞭解它們相互之間的影響,更好的指導CMOS-MEMS體硅集成器件的設計.
체규MEMS화CMOS전로적단편집성기술시제고전감기성능적유효도경,단시집성기술회대타라적설계화CMOS전로적설계제출경고적요구.통과건립CMOS-MEMS체규타라적등효전학모형,실현료대CMOS-MEMS체규타라적계통급방진.통과계통방진,타라적결구부분、전로부분、집성산생적기생효응이급공예오차득도료유효적분석,종이능구료해타문상호지간적영향,경호적지도CMOS-MEMS체규집성기건적설계.
