河北省科学院学报
河北省科學院學報
하북성과학원학보
JOURNAL OF THE HEBEI ACADEMY OF SCIENCES
2008年
1期
38-41
,共4页
刘秀军%孙振路%吴晓波%王少岩%何奇宇%胡红彦%杨卫正
劉秀軍%孫振路%吳曉波%王少巖%何奇宇%鬍紅彥%楊衛正
류수군%손진로%오효파%왕소암%하기우%호홍언%양위정
温度监控%红外测温仪%遥控%信号发射器%信号接收器
溫度鑑控%紅外測溫儀%遙控%信號髮射器%信號接收器
온도감공%홍외측온의%요공%신호발사기%신호접수기
介绍了一种温度监控装置,并结合其在等离子体喷射CVD金刚石膜沉积设备中的使用情况,论述了该温度监控装置的工作原理,给出了监控的驱动电路,并对该电路进行了分析,最后在沉积结果中选取了两种典型的金刚石膜晶粒形貌做了比较,经过多次沉积实验证明,本温度监控装置的引入大大降低了值班人员的劳动强度,明显改善了金刚石膜的质量和完整性,提高了产品的出材率.
介紹瞭一種溫度鑑控裝置,併結閤其在等離子體噴射CVD金剛石膜沉積設備中的使用情況,論述瞭該溫度鑑控裝置的工作原理,給齣瞭鑑控的驅動電路,併對該電路進行瞭分析,最後在沉積結果中選取瞭兩種典型的金剛石膜晶粒形貌做瞭比較,經過多次沉積實驗證明,本溫度鑑控裝置的引入大大降低瞭值班人員的勞動彊度,明顯改善瞭金剛石膜的質量和完整性,提高瞭產品的齣材率.
개소료일충온도감공장치,병결합기재등리자체분사CVD금강석막침적설비중적사용정황,논술료해온도감공장치적공작원리,급출료감공적구동전로,병대해전로진행료분석,최후재침적결과중선취료량충전형적금강석막정립형모주료비교,경과다차침적실험증명,본온도감공장치적인입대대강저료치반인원적노동강도,명현개선료금강석막적질량화완정성,제고료산품적출재솔.
