真空
真空
진공
VACUUM
2008年
2期
46-49
,共4页
孙运金%陈强%张跃飞%李朝阳%付亚波
孫運金%陳彊%張躍飛%李朝暘%付亞波
손운금%진강%장약비%리조양%부아파
有机无机交叠%氧化硅%阻隔性能%AFM
有機無機交疊%氧化硅%阻隔性能%AFM
유궤무궤교첩%양화규%조격성능%AFM
采用等离子体化学聚合,在氧化硅层表面聚合单层甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)改善其脆性,提高氧化硅薄膜阻隔性能和柔韧性能的研究.通过无机氧化硅层和有机GMA层交叠沉积来研究不同沉积参数对薄膜的阻隔性能影响.红外光谱(FTIR)分析在1030 cm-1和1730 cm-1处出现硅氧和羰基特征峰表明沉积薄膜为氧化硅和GMA.通过透氧性能测试(OTR)表明,沉积薄膜叠合顺序为氧化硅/GMA/氧化硅并且叠合六层时阻氧性最好,OTR为0.125(ml/m2·24 h)(原膜为130(mL/m2·24 h)).表面形貌分析表明薄膜由表面粗糙度较高的氧化硅层和粗糙度较低的有机GMA混合叠加在一起,并进一步从表面形貌角度说明三层叠合时,薄膜OTR较好的原因.按照GB/T 10004-1998标准,采用CPP为内封层,湿式复合工艺实验表明,复合薄膜的热封层良好、机械性能好.
採用等離子體化學聚閤,在氧化硅層錶麵聚閤單層甲基丙烯痠縮水甘油酯(GMA)改善其脆性,提高氧化硅薄膜阻隔性能和柔韌性能的研究.通過無機氧化硅層和有機GMA層交疊沉積來研究不同沉積參數對薄膜的阻隔性能影響.紅外光譜(FTIR)分析在1030 cm-1和1730 cm-1處齣現硅氧和羰基特徵峰錶明沉積薄膜為氧化硅和GMA.通過透氧性能測試(OTR)錶明,沉積薄膜疊閤順序為氧化硅/GMA/氧化硅併且疊閤六層時阻氧性最好,OTR為0.125(ml/m2·24 h)(原膜為130(mL/m2·24 h)).錶麵形貌分析錶明薄膜由錶麵粗糙度較高的氧化硅層和粗糙度較低的有機GMA混閤疊加在一起,併進一步從錶麵形貌角度說明三層疊閤時,薄膜OTR較好的原因.按照GB/T 10004-1998標準,採用CPP為內封層,濕式複閤工藝實驗錶明,複閤薄膜的熱封層良好、機械性能好.
채용등리자체화학취합,재양화규층표면취합단층갑기병희산축수감유지(GMA)개선기취성,제고양화규박막조격성능화유인성능적연구.통과무궤양화규층화유궤GMA층교첩침적래연구불동침적삼수대박막적조격성능영향.홍외광보(FTIR)분석재1030 cm-1화1730 cm-1처출현규양화탄기특정봉표명침적박막위양화규화GMA.통과투양성능측시(OTR)표명,침적박막첩합순서위양화규/GMA/양화규병차첩합륙층시조양성최호,OTR위0.125(ml/m2·24 h)(원막위130(mL/m2·24 h)).표면형모분석표명박막유표면조조도교고적양화규층화조조도교저적유궤GMA혼합첩가재일기,병진일보종표면형모각도설명삼층첩합시,박막OTR교호적원인.안조GB/T 10004-1998표준,채용CPP위내봉층,습식복합공예실험표명,복합박막적열봉층량호、궤계성능호.
