光学技术
光學技術
광학기술
OPTICAL TECHNOLOGY
2009年
3期
367-369
,共3页
胡自强%凌宁%潘君骅%姜文汉
鬍自彊%凌寧%潘君驊%薑文漢
호자강%릉저%반군화%강문한
非球面镜%非球面能动抛光盘%优化设计%压电陶瓷驱动器
非毬麵鏡%非毬麵能動拋光盤%優化設計%壓電陶瓷驅動器
비구면경%비구면능동포광반%우화설계%압전도자구동기
基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,能够在PZT驱动器的作用下改变面形,用于中小口径非球面镜加工.为优化设计基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘,利用有限元分析方法,计算各驱动器的影响函数,计算非球面能动抛光盘的输出面形,与理论面形比较得到剩余残差.以优化设计驱动器排布方式和极头直径为例,当非球面能动抛光盘中心到非球面工件中心的距离L为120mm,分别计算比较,极头直径为Φ10mm时,19单元PZT圆形排布与21单元PZT方形排布的剩余残差;以及19单元PZT圆形排布时,极头直径为Φ10mm与Φ14mm的剩余残差.结果表明,非球面能动抛光盘产生变形后的剩余残差RMS相应分别为0.303μm、0.367μm、0.328μm.因此,基于PZT压电陶瓷驱动器的非球面能动抛光盘确定选用19单元PZT圆形排布且极头直径Φ10mm.
基于PZT壓電陶瓷驅動器的非毬麵能動拋光盤,能夠在PZT驅動器的作用下改變麵形,用于中小口徑非毬麵鏡加工.為優化設計基于PZT壓電陶瓷驅動器的非毬麵能動拋光盤,利用有限元分析方法,計算各驅動器的影響函數,計算非毬麵能動拋光盤的輸齣麵形,與理論麵形比較得到剩餘殘差.以優化設計驅動器排佈方式和極頭直徑為例,噹非毬麵能動拋光盤中心到非毬麵工件中心的距離L為120mm,分彆計算比較,極頭直徑為Φ10mm時,19單元PZT圓形排佈與21單元PZT方形排佈的剩餘殘差;以及19單元PZT圓形排佈時,極頭直徑為Φ10mm與Φ14mm的剩餘殘差.結果錶明,非毬麵能動拋光盤產生變形後的剩餘殘差RMS相應分彆為0.303μm、0.367μm、0.328μm.因此,基于PZT壓電陶瓷驅動器的非毬麵能動拋光盤確定選用19單元PZT圓形排佈且極頭直徑Φ10mm.
기우PZT압전도자구동기적비구면능동포광반,능구재PZT구동기적작용하개변면형,용우중소구경비구면경가공.위우화설계기우PZT압전도자구동기적비구면능동포광반,이용유한원분석방법,계산각구동기적영향함수,계산비구면능동포광반적수출면형,여이론면형비교득도잉여잔차.이우화설계구동기배포방식화겁두직경위례,당비구면능동포광반중심도비구면공건중심적거리L위120mm,분별계산비교,겁두직경위Φ10mm시,19단원PZT원형배포여21단원PZT방형배포적잉여잔차;이급19단원PZT원형배포시,겁두직경위Φ10mm여Φ14mm적잉여잔차.결과표명,비구면능동포광반산생변형후적잉여잔차RMS상응분별위0.303μm、0.367μm、0.328μm.인차,기우PZT압전도자구동기적비구면능동포광반학정선용19단원PZT원형배포차겁두직경Φ10mm.
