物理学报
物理學報
물이학보
2005年
3期
1385-1389
,共5页
张东平%齐红基%邵建达%范瑞瑛%范正修
張東平%齊紅基%邵建達%範瑞瑛%範正脩
장동평%제홍기%소건체%범서영%범정수
结瘤微缺陷%锆薄膜%扩散限制聚集模型
結瘤微缺陷%鋯薄膜%擴散限製聚集模型
결류미결함%고박막%확산한제취집모형
用离子束溅射法制备了锆单层薄膜.用设计新型夹具和预置种子方法,对薄膜中结瘤微缺陷的生长过程进行了研究.在高分辨率光学显微镜和扫描电子显微镜下观察发现,结瘤在其生长初期呈现出分形的特征.用分子动力学和薄膜生长的扩散限制聚集模型,薄膜中结瘤微缺陷成核时的分形现象得到了很好的解释.
用離子束濺射法製備瞭鋯單層薄膜.用設計新型夾具和預置種子方法,對薄膜中結瘤微缺陷的生長過程進行瞭研究.在高分辨率光學顯微鏡和掃描電子顯微鏡下觀察髮現,結瘤在其生長初期呈現齣分形的特徵.用分子動力學和薄膜生長的擴散限製聚集模型,薄膜中結瘤微缺陷成覈時的分形現象得到瞭很好的解釋.
용리자속천사법제비료고단층박막.용설계신형협구화예치충자방법,대박막중결류미결함적생장과정진행료연구.재고분변솔광학현미경화소묘전자현미경하관찰발현,결류재기생장초기정현출분형적특정.용분자동역학화박막생장적확산한제취집모형,박막중결류미결함성핵시적분형현상득도료흔호적해석.
