激光杂志
激光雜誌
격광잡지
LASER JOURNAL
2006年
6期
3-5
,共3页
任大海%杜杰%阎梅芝%尤政
任大海%杜傑%閻梅芝%尤政
임대해%두걸%염매지%우정
微光机电系统%静电微反射镜%静电驱动器%角锥棱镜%衍射
微光機電繫統%靜電微反射鏡%靜電驅動器%角錐稜鏡%衍射
미광궤전계통%정전미반사경%정전구동기%각추릉경%연사
本文从静电微反射镜结构、驱动方式、加工工艺等方面对目前静电微反射镜的原理和实现方法进行总结,分别讨论了它们的功能特点和应用方向,分析了不同应用领域的静电微反射镜的性能要求和结构方式,重点介绍了静电微反射镜在投影显示器和空间光通信等领域的应用,最后讨论了静电微反射镜在光学特性分析、驱动方式、工艺设计、动态特性和控制方法等方面的关键问题及发展方向.
本文從靜電微反射鏡結構、驅動方式、加工工藝等方麵對目前靜電微反射鏡的原理和實現方法進行總結,分彆討論瞭它們的功能特點和應用方嚮,分析瞭不同應用領域的靜電微反射鏡的性能要求和結構方式,重點介紹瞭靜電微反射鏡在投影顯示器和空間光通信等領域的應用,最後討論瞭靜電微反射鏡在光學特性分析、驅動方式、工藝設計、動態特性和控製方法等方麵的關鍵問題及髮展方嚮.
본문종정전미반사경결구、구동방식、가공공예등방면대목전정전미반사경적원리화실현방법진행총결,분별토론료타문적공능특점화응용방향,분석료불동응용영역적정전미반사경적성능요구화결구방식,중점개소료정전미반사경재투영현시기화공간광통신등영역적응용,최후토론료정전미반사경재광학특성분석、구동방식、공예설계、동태특성화공제방법등방면적관건문제급발전방향.
