重庆大学学报(自然科学版)
重慶大學學報(自然科學版)
중경대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHONGQING UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2007年
2期
5-8
,共4页
韩贤武%陈小安%杨学恒%白海会
韓賢武%陳小安%楊學恆%白海會
한현무%진소안%양학항%백해회
原子力显微镜%表面粗糙度%纳米级%数学模型
原子力顯微鏡%錶麵粗糙度%納米級%數學模型
원자력현미경%표면조조도%납미급%수학모형
简要介绍了评定表面粗糙度参数的基准线及其主要的两个轮廓高度评定参数,详细阐述了重庆大学研制成功的一种高精度原子力显微镜--AFM.IPC-208B型机的工作原理及其系统结构,着重论述了它在纳米级表面粗糙度检测上的应用.以不锈钢为实验样品,观测了不锈钢表面的微观结构,通过专用的计算程序,对所采集到的表面数据进行了分析和处理,得到了该表面的两个轮廓高度评定参数Rz和Ra值,最后对实验结果进行了简要的分析.
簡要介紹瞭評定錶麵粗糙度參數的基準線及其主要的兩箇輪廓高度評定參數,詳細闡述瞭重慶大學研製成功的一種高精度原子力顯微鏡--AFM.IPC-208B型機的工作原理及其繫統結構,著重論述瞭它在納米級錶麵粗糙度檢測上的應用.以不鏽鋼為實驗樣品,觀測瞭不鏽鋼錶麵的微觀結構,通過專用的計算程序,對所採集到的錶麵數據進行瞭分析和處理,得到瞭該錶麵的兩箇輪廓高度評定參數Rz和Ra值,最後對實驗結果進行瞭簡要的分析.
간요개소료평정표면조조도삼수적기준선급기주요적량개륜곽고도평정삼수,상세천술료중경대학연제성공적일충고정도원자력현미경--AFM.IPC-208B형궤적공작원리급기계통결구,착중논술료타재납미급표면조조도검측상적응용.이불수강위실험양품,관측료불수강표면적미관결구,통과전용적계산정서,대소채집도적표면수거진행료분석화처리,득도료해표면적량개륜곽고도평정삼수Rz화Ra치,최후대실험결과진행료간요적분석.
