传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2008年
2期
273-275
,共3页
张艳红%刘理天%张兆华%林惠旺
張豔紅%劉理天%張兆華%林惠旺
장염홍%류리천%장조화%림혜왕
力敏效应%MOS晶体管%灵敏度%功耗
力敏效應%MOS晶體管%靈敏度%功耗
력민효응%MOS정체관%령민도%공모
随着汽车、航天、生物等领域对力敏传感器的越来越巨大的市场需求,力敏传感器再次成为研究的热点.压阻式力敏传感器由于其性能稳定、制作工艺简单、稳定性好且价格低成为商家的首选.研究表明,在应力作用下,MC6晶体管的源漏电流的大小会随着沟道区所受应力大小而变化,具有类似压敏电阻的力敏效应.基于MC6晶体管的这种力敏效应,采用晶体管和电阻构成压敏电桥,提出了一种新型的硅基MOS力敏传感器.该器件在与传统的压阻式力敏传感器相比,一方面继承了其制作工艺简单、稳定性和线性度好等优点,另一方面大幅提高了传感器灵敏度并降低了功耗,使得器件性能得到整体提高.
隨著汽車、航天、生物等領域對力敏傳感器的越來越巨大的市場需求,力敏傳感器再次成為研究的熱點.壓阻式力敏傳感器由于其性能穩定、製作工藝簡單、穩定性好且價格低成為商傢的首選.研究錶明,在應力作用下,MC6晶體管的源漏電流的大小會隨著溝道區所受應力大小而變化,具有類似壓敏電阻的力敏效應.基于MC6晶體管的這種力敏效應,採用晶體管和電阻構成壓敏電橋,提齣瞭一種新型的硅基MOS力敏傳感器.該器件在與傳統的壓阻式力敏傳感器相比,一方麵繼承瞭其製作工藝簡單、穩定性和線性度好等優點,另一方麵大幅提高瞭傳感器靈敏度併降低瞭功耗,使得器件性能得到整體提高.
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