应用光学
應用光學
응용광학
JOURNAL OF APPLIED OPTICS
2009年
2期
273-278
,共6页
王孝坤%郑立功%张斌智%李锐钢%张忠玉%张峰%张学军
王孝坤%鄭立功%張斌智%李銳鋼%張忠玉%張峰%張學軍
왕효곤%정립공%장빈지%리예강%장충옥%장봉%장학군
光学检测%子孔径拼接干涉%大口径非球面%齐次坐标变换%最小二乘拟合
光學檢測%子孔徑拼接榦涉%大口徑非毬麵%齊次坐標變換%最小二乘擬閤
광학검측%자공경병접간섭%대구경비구면%제차좌표변환%최소이승의합
为了无需其他辅助光学元件就能够实现对大口径非球面的测量,提出了子孔径拼接干涉检测方法.并基于齐次坐标变换、最小二乘法以及Zernike多项式拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面算法软件,进行了计算机模拟和仿真实验;设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置,并利用子孔径拼接实现了对口径为350 mm的双曲面的检测;为了分析和对比,对待测非球面进行零位补偿检测实验,子孔径拼接所得的面形分布和零位补偿检测所得的全口径面形分布都是一致的,其面形误差PV值和RMS值的偏差分别为0.032 λ和0.004 λ(λ=632.8 nm).从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的手段.
為瞭無需其他輔助光學元件就能夠實現對大口徑非毬麵的測量,提齣瞭子孔徑拼接榦涉檢測方法.併基于齊次坐標變換、最小二乘法以及Zernike多項式擬閤建立瞭綜閤優化和誤差均化的拼接數學模型;開髮瞭子孔徑拼接檢測非毬麵算法軟件,進行瞭計算機模擬和倣真實驗;設計和搭建瞭子孔徑拼接榦涉檢測裝置,併利用子孔徑拼接實現瞭對口徑為350 mm的雙麯麵的檢測;為瞭分析和對比,對待測非毬麵進行零位補償檢測實驗,子孔徑拼接所得的麵形分佈和零位補償檢測所得的全口徑麵形分佈都是一緻的,其麵形誤差PV值和RMS值的偏差分彆為0.032 λ和0.004 λ(λ=632.8 nm).從而提供瞭除零位補償檢測外另一種定量測試非毬麵尤其是大口徑非毬麵的手段.
위료무수기타보조광학원건취능구실현대대구경비구면적측량,제출료자공경병접간섭검측방법.병기우제차좌표변환、최소이승법이급Zernike다항식의합건립료종합우화화오차균화적병접수학모형;개발료자공경병접검측비구면산법연건,진행료계산궤모의화방진실험;설계화탑건료자공경병접간섭검측장치,병이용자공경병접실현료대구경위350 mm적쌍곡면적검측;위료분석화대비,대대측비구면진행령위보상검측실험,자공경병접소득적면형분포화령위보상검측소득적전구경면형분포도시일치적,기면형오차PV치화RMS치적편차분별위0.032 λ화0.004 λ(λ=632.8 nm).종이제공료제령위보상검측외령일충정량측시비구면우기시대구경비구면적수단.
