合肥工业大学学报（自然科学版）
閤肥工業大學學報（自然科學版）
합비공업대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HEFEI UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE)
2012年
5期
640-643
,共4页
TiO2薄膜%磁控溅射%表面形貌
TiO2薄膜%磁控濺射%錶麵形貌
TiO2박막%자공천사%표면형모
在气压为1 Pa和2Pa的情况下,文章采用直流磁控溅射法分别在Si(100)、Al2O3陶瓷、普通载玻片3种衬底上生长TiO2薄膜；利用原子力显微镜对TiO2薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响.并研究表明,在Si(100)衬底上生长的TiO2薄膜,气压为2Pa时比1 Pa时表面粗糙度要大；在相同溅射气压下,Si(100)衬底上得到的TiO2薄膜质量明显优于Al2O3陶瓷和普通载玻片衬底上的.
在氣壓為1 Pa和2Pa的情況下,文章採用直流磁控濺射法分彆在Si(100)、Al2O3陶瓷、普通載玻片3種襯底上生長TiO2薄膜；利用原子力顯微鏡對TiO2薄膜的錶麵形貌進行觀察,研究瞭壓彊及襯底對薄膜錶麵形貌的影響.併研究錶明,在Si(100)襯底上生長的TiO2薄膜,氣壓為2Pa時比1 Pa時錶麵粗糙度要大；在相同濺射氣壓下,Si(100)襯底上得到的TiO2薄膜質量明顯優于Al2O3陶瓷和普通載玻片襯底上的.
재기압위1 Pa화2Pa적정황하,문장채용직류자공천사법분별재Si(100)、Al2O3도자、보통재파편3충츤저상생장TiO2박막；이용원자력현미경대TiO2박막적표면형모진행관찰,연구료압강급츤저대박막표면형모적영향.병연구표명,재Si(100)츤저상생장적TiO2박막,기압위2Pa시비1 Pa시표면조조도요대；재상동천사기압하,Si(100)츤저상득도적TiO2박막질량명현우우Al2O3도자화보통재파편츤저상적.
