机械工程师
機械工程師
궤계공정사
MECHANICAL ENGINEER
2004年
8期
17-19
,共3页
直线电机%激光干涉仪%定位精度%误差补偿
直線電機%激光榦涉儀%定位精度%誤差補償
직선전궤%격광간섭의%정위정도%오차보상
应用双频激光干涉仪对直线电机进给的定位精度进行了测试.在介绍双频激光干涉仪测量原理的基础上,对直线电机进给定位精度测试方法作了详细的描述.测试结果发现,直线电机进给的速度、加速度的变化对定位精度的影响不是很大.利用最小二乘法对各点定位精度平均值进行分段线性拟合,并对直线电机进给的定位精度进行补偿,可以较大地提高直线电机进给的定位精度.
應用雙頻激光榦涉儀對直線電機進給的定位精度進行瞭測試.在介紹雙頻激光榦涉儀測量原理的基礎上,對直線電機進給定位精度測試方法作瞭詳細的描述.測試結果髮現,直線電機進給的速度、加速度的變化對定位精度的影響不是很大.利用最小二乘法對各點定位精度平均值進行分段線性擬閤,併對直線電機進給的定位精度進行補償,可以較大地提高直線電機進給的定位精度.
응용쌍빈격광간섭의대직선전궤진급적정위정도진행료측시.재개소쌍빈격광간섭의측량원리적기출상,대직선전궤진급정위정도측시방법작료상세적묘술.측시결과발현,직선전궤진급적속도、가속도적변화대정위정도적영향불시흔대.이용최소이승법대각점정위정도평균치진행분단선성의합,병대직선전궤진급적정위정도진행보상,가이교대지제고직선전궤진급적정위정도.
