光电子技术与信息
光電子技術與信息
광전자기술여신식
OPTOELECTRONIC TECHNOLOGY & INFORMATION
2005年
3期
10-13
,共4页
陈磊%王锐%黄永攀%李道火
陳磊%王銳%黃永攀%李道火
진뢰%왕예%황영반%리도화
激光诱导化学气相合成%六甲基乙硅胺烷%氮化硅纳米粉体
激光誘導化學氣相閤成%六甲基乙硅胺烷%氮化硅納米粉體
격광유도화학기상합성%륙갑기을규알완%담화규납미분체
针对激光气相合成氮化硅纳米粉体的性能与成本的矛盾,在对激光合成反应物的研究与分析的基础上,选择廉价、无氯硫、对CO2激光有强吸收、易于处理的有机硅烷反应物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作为价格昂贵、难以处理的硅烷(SiH4)的替代反应物,进行了激光合成氮化硅纳米粉体的研究.
針對激光氣相閤成氮化硅納米粉體的性能與成本的矛盾,在對激光閤成反應物的研究與分析的基礎上,選擇廉價、無氯硫、對CO2激光有彊吸收、易于處理的有機硅烷反應物六甲基乙硅胺烷(HMDS)作為價格昂貴、難以處理的硅烷(SiH4)的替代反應物,進行瞭激光閤成氮化硅納米粉體的研究.
침대격광기상합성담화규납미분체적성능여성본적모순,재대격광합성반응물적연구여분석적기출상,선택렴개、무록류、대CO2격광유강흡수、역우처리적유궤규완반응물륙갑기을규알완(HMDS)작위개격앙귀、난이처리적규완(SiH4)적체대반응물,진행료격광합성담화규납미분체적연구.
