华南理工大学学报（自然科学版）
華南理工大學學報（自然科學版）
화남리공대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA UNIVERSITY OF TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2005年
7期
28-31
,共4页
胡芸菲%沈辉%王磊%邹禧武%班群%梁宗存%刘正义%闻立时
鬍蕓菲%瀋輝%王磊%鄒禧武%班群%樑宗存%劉正義%聞立時
호예비%침휘%왕뢰%추희무%반군%량종존%류정의%문립시
区熔%颗粒硅带%多晶硅薄膜%平整度%择优取向
區鎔%顆粒硅帶%多晶硅薄膜%平整度%擇優取嚮
구용%과립규대%다정규박막%평정도%택우취향
以颗粒硅带为衬底,通过化学气相沉积法制备多晶硅薄膜作为太阳电池的活性层.为了改善硅带衬底的质量,引入区熔再结晶的方法,期望将其表面平整度及结晶质量进一步提高,进而改善以其为衬底的多晶硅薄膜质量.借助台阶仪、X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)等手段对颗粒硅带及多晶硅薄膜进行了表面轮廓、结晶质量和微观形貌的表征.结果表明:区熔后的颗粒硅带表面平整度得到了较好的改善;表面具有[311]择优方向的硅带区熔后都倾向[111]择优;在区熔硅带衬底上沉积的多晶硅薄膜晶粒尺寸在100μm以上,但暂无明显证据证明区熔对薄膜结晶质量有显著提高.
以顆粒硅帶為襯底,通過化學氣相沉積法製備多晶硅薄膜作為太暘電池的活性層.為瞭改善硅帶襯底的質量,引入區鎔再結晶的方法,期望將其錶麵平整度及結晶質量進一步提高,進而改善以其為襯底的多晶硅薄膜質量.藉助檯階儀、X射線衍射(XRD)、掃描電鏡(SEM)等手段對顆粒硅帶及多晶硅薄膜進行瞭錶麵輪廓、結晶質量和微觀形貌的錶徵.結果錶明:區鎔後的顆粒硅帶錶麵平整度得到瞭較好的改善;錶麵具有[311]擇優方嚮的硅帶區鎔後都傾嚮[111]擇優;在區鎔硅帶襯底上沉積的多晶硅薄膜晶粒呎吋在100μm以上,但暫無明顯證據證明區鎔對薄膜結晶質量有顯著提高.
이과립규대위츤저,통과화학기상침적법제비다정규박막작위태양전지적활성층.위료개선규대츤저적질량,인입구용재결정적방법,기망장기표면평정도급결정질량진일보제고,진이개선이기위츤저적다정규박막질량.차조태계의、X사선연사(XRD)、소묘전경(SEM)등수단대과립규대급다정규박막진행료표면륜곽、결정질량화미관형모적표정.결과표명:구용후적과립규대표면평정도득도료교호적개선;표면구유[311]택우방향적규대구용후도경향[111]택우;재구용규대츤저상침적적다정규박막정립척촌재100μm이상,단잠무명현증거증명구용대박막결정질량유현저제고.
