人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2007年
3期
699-704,691
,共7页
张飞%闫鹏勋%陈江涛%苗彬彬%李冠斌%王君
張飛%閆鵬勛%陳江濤%苗彬彬%李冠斌%王君
장비%염붕훈%진강도%묘빈빈%리관빈%왕군
TiAlN涂层%晶体结构%抗氧化性%硬度%综述
TiAlN塗層%晶體結構%抗氧化性%硬度%綜述
TiAlN도층%정체결구%항양화성%경도%종술
TiAlN作为一种三元复合纳米涂层材料,具有非常好的性能.该涂层克服了TiN涂层所存在的一些缺陷,其硬度远远高于TiN涂层,最高可达47GPa, 并且具有很好的热稳定性,在700℃高温下仍很稳定,而TiN涂层在500℃时就已被氧化.TiAlN涂层还具有抗磨损,摩擦系数小,热膨胀系数及热传导系数低等特性,这些特性与涂层中Al含量的多少有关,Al含量的改变会导致涂层微观结构的改变,从而使其性能发生变化.氮分压和基底温度对TiAlN涂层的性质有着极其重要影响.本文结合国内外对TiAlN涂层的最新研究进展,对TiAlN涂层的应用,制备方法,结构,抗氧化性及硬度作了简要论述.
TiAlN作為一種三元複閤納米塗層材料,具有非常好的性能.該塗層剋服瞭TiN塗層所存在的一些缺陷,其硬度遠遠高于TiN塗層,最高可達47GPa, 併且具有很好的熱穩定性,在700℃高溫下仍很穩定,而TiN塗層在500℃時就已被氧化.TiAlN塗層還具有抗磨損,摩抆繫數小,熱膨脹繫數及熱傳導繫數低等特性,這些特性與塗層中Al含量的多少有關,Al含量的改變會導緻塗層微觀結構的改變,從而使其性能髮生變化.氮分壓和基底溫度對TiAlN塗層的性質有著極其重要影響.本文結閤國內外對TiAlN塗層的最新研究進展,對TiAlN塗層的應用,製備方法,結構,抗氧化性及硬度作瞭簡要論述.
TiAlN작위일충삼원복합납미도층재료,구유비상호적성능.해도층극복료TiN도층소존재적일사결함,기경도원원고우TiN도층,최고가체47GPa, 병차구유흔호적열은정성,재700℃고온하잉흔은정,이TiN도층재500℃시취이피양화.TiAlN도층환구유항마손,마찰계수소,열팽창계수급열전도계수저등특성,저사특성여도층중Al함량적다소유관,Al함량적개변회도치도층미관결구적개변,종이사기성능발생변화.담분압화기저온도대TiAlN도층적성질유착겁기중요영향.본문결합국내외대TiAlN도층적최신연구진전,대TiAlN도층적응용,제비방법,결구,항양화성급경도작료간요논술.
