材料研究学报
材料研究學報
재료연구학보
CHINESE JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH
2008年
2期
187-190
,共4页
杨青慧%张怀武%刘颖力%文岐业
楊青慧%張懷武%劉穎力%文岐業
양청혜%장부무%류영력%문기업
无机非金属材料%快速循环退火%Bi:YIG薄膜%饱和磁化强度%矫顽力
無機非金屬材料%快速循環退火%Bi:YIG薄膜%飽和磁化彊度%矯頑力
무궤비금속재료%쾌속순배퇴화%Bi:YIG박막%포화자화강도%교완력
对于用射频磁控溅射技术在Si基片上制备的Bi:YIG系薄膜,用快速循环退火方法对其进行晶化处理,研究了退火温度对Bi:YIG薄膜结晶状态和形貌的影响,以及退火气氛和循环周期对薄膜性能的影响.结果表明,用快速循环退火可以在si单晶基片上得到磁性能优良的薄膜(饱和磁化强度139 kA/m,矫顽力6.37 kA/m)并使薄膜形貌有较大改善,在石英基片上制备的薄膜法拉第角比常规退火的薄膜增大了约一倍.
對于用射頻磁控濺射技術在Si基片上製備的Bi:YIG繫薄膜,用快速循環退火方法對其進行晶化處理,研究瞭退火溫度對Bi:YIG薄膜結晶狀態和形貌的影響,以及退火氣氛和循環週期對薄膜性能的影響.結果錶明,用快速循環退火可以在si單晶基片上得到磁性能優良的薄膜(飽和磁化彊度139 kA/m,矯頑力6.37 kA/m)併使薄膜形貌有較大改善,在石英基片上製備的薄膜法拉第角比常規退火的薄膜增大瞭約一倍.
대우용사빈자공천사기술재Si기편상제비적Bi:YIG계박막,용쾌속순배퇴화방법대기진행정화처리,연구료퇴화온도대Bi:YIG박막결정상태화형모적영향,이급퇴화기분화순배주기대박막성능적영향.결과표명,용쾌속순배퇴화가이재si단정기편상득도자성능우량적박막(포화자화강도139 kA/m,교완력6.37 kA/m)병사박막형모유교대개선,재석영기편상제비적박막법랍제각비상규퇴화적박막증대료약일배.
