微细加工技术
微細加工技術
미세가공기술
MICROFABRICATION TECHNOLOGY
2008年
3期
40-45
,共6页
陆松涛%俞正寅%庞洁%沈时强%杨恒
陸鬆濤%俞正寅%龐潔%瀋時彊%楊恆
륙송도%유정인%방길%침시강%양항
微机电系统%准LIGA%微电铸
微機電繫統%準LIGA%微電鑄
미궤전계통%준LIGA%미전주
研究了一种准LIGA加工工艺.该工艺利用无氰电铸制作金结构层,采用PECVD制作的无定形硅作为牺牲层,利用二氟化氙(XeF2)干法腐蚀对材料选择性好的特点,采用先部分封装然后腐蚀牺牲层释放结构的工艺流程,避免了封装工艺对可动敏感结构造成的破坏.研究了无氰电铸结构中的应力梯度,发现应力梯度存在随时间缓慢释放的现象,利用热退火消除了结构中的应力梯度.同时还对厚胶光刻、类特氟隆防粘附层制备等关键工艺作了探讨.
研究瞭一種準LIGA加工工藝.該工藝利用無氰電鑄製作金結構層,採用PECVD製作的無定形硅作為犧牲層,利用二氟化氙(XeF2)榦法腐蝕對材料選擇性好的特點,採用先部分封裝然後腐蝕犧牲層釋放結構的工藝流程,避免瞭封裝工藝對可動敏感結構造成的破壞.研究瞭無氰電鑄結構中的應力梯度,髮現應力梯度存在隨時間緩慢釋放的現象,利用熱退火消除瞭結構中的應力梯度.同時還對厚膠光刻、類特氟隆防粘附層製備等關鍵工藝作瞭探討.
연구료일충준LIGA가공공예.해공예이용무청전주제작금결구층,채용PECVD제작적무정형규작위희생층,이용이불화선(XeF2)간법부식대재료선택성호적특점,채용선부분봉장연후부식희생층석방결구적공예류정,피면료봉장공예대가동민감결구조성적파배.연구료무청전주결구중적응력제도,발현응력제도존재수시간완만석방적현상,이용열퇴화소제료결구중적응력제도.동시환대후효광각、류특불륭방점부층제비등관건공예작료탐토.
