天津师范大学学报(自然科学版)
天津師範大學學報(自然科學版)
천진사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF TIANJIN NORMAL UNIVERSITY
2009年
1期
32-35
,共4页
Sol-Gel法%PLZT铁电薄膜%介电性能
Sol-Gel法%PLZT鐵電薄膜%介電性能
Sol-Gel법%PLZT철전박막%개전성능
在温度为97℃,水浴回流10 h的条件下,用旋涂法在Si(100)基底上,通过改变溶胶的滴加量、转速、升温速率、煅烧温度及保温时间,制备出性能良好的PLZT铁电薄膜,并用精密阻抗分析仪(PIA)对其介电性能进行测试,研究发现:PLZT铁电薄膜未被击穿时,随着测试频率,的提高电容逐渐减小,而介电损耗会出现突变,在测试频率达到1 MHz时,介电损耗一次突变;当PLZT铁电薄膜被击穿时,随着测试频率f的升高,介电损耗会逐渐增大,在外场频率达到1MHz时开始减小,当膜被击穿后,电感将不可恢复,而材料的电容具有恢复特征,随着测试频率的升高,电容在逐渐减小.
在溫度為97℃,水浴迴流10 h的條件下,用鏇塗法在Si(100)基底上,通過改變溶膠的滴加量、轉速、升溫速率、煅燒溫度及保溫時間,製備齣性能良好的PLZT鐵電薄膜,併用精密阻抗分析儀(PIA)對其介電性能進行測試,研究髮現:PLZT鐵電薄膜未被擊穿時,隨著測試頻率,的提高電容逐漸減小,而介電損耗會齣現突變,在測試頻率達到1 MHz時,介電損耗一次突變;噹PLZT鐵電薄膜被擊穿時,隨著測試頻率f的升高,介電損耗會逐漸增大,在外場頻率達到1MHz時開始減小,噹膜被擊穿後,電感將不可恢複,而材料的電容具有恢複特徵,隨著測試頻率的升高,電容在逐漸減小.
재온도위97℃,수욕회류10 h적조건하,용선도법재Si(100)기저상,통과개변용효적적가량、전속、승온속솔、단소온도급보온시간,제비출성능량호적PLZT철전박막,병용정밀조항분석의(PIA)대기개전성능진행측시,연구발현:PLZT철전박막미피격천시,수착측시빈솔,적제고전용축점감소,이개전손모회출현돌변,재측시빈솔체도1 MHz시,개전손모일차돌변;당PLZT철전박막피격천시,수착측시빈솔f적승고,개전손모회축점증대,재외장빈솔체도1MHz시개시감소,당막피격천후,전감장불가회복,이재료적전용구유회복특정,수착측시빈솔적승고,전용재축점감소.
