CAJ | 학술논문

微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用.本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载电压、PID校正参数和反馈增益,进行了分析;本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果,结果表明:微机械加速度计的量程为±15gn,非线性度为0.041 9%,阈值为0.15 mgn,2 h稳定性误差为0.084 5 mgn,逐次启动重复性误差为0.156 mgn.
미궤계가속도계작위미궤전계통(MEMS)적일개중요산품,목전이경득도료엄범응용.본문수선종정체상제출료미궤계가속도계적공작원리화수학모형,병착중토론료각개부분지간적관계;연후근거민감원건적특성,대사복회로적궤개관건삼수,즉예재전압、PID교정삼수화반궤증익,진행료분석;본문최후급출료일충가속도계정체성능적측시결과,결과표명:미궤계가속도계적량정위±15gn,비선성도위0.041 9%,역치위0.15 mgn,2 h은정성오차위0.084 5 mgn,축차계동중복성오차위0.156 mgn.