稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2010年
z1期
212-215
,共4页
刘星%马国佳%孙刚%段玉平%刘顺华
劉星%馬國佳%孫剛%段玉平%劉順華
류성%마국가%손강%단옥평%류순화
反应磁控溅射%离子注入%TaN%磨损性能
反應磁控濺射%離子註入%TaN%磨損性能
반응자공천사%리자주입%TaN%마손성능
采用微波增强的反应磁控溅射和离子注入法以及两者相结合的工艺制备了TaN系薄膜.通过X射线衍射(XRD)分析了薄膜的晶体结构,用微磨损仪和白光轮廓仪对样品的摩擦系数和磨损情况进行了检测和分析.结果表明,Ta离子注入与TaN沉积相结合的方式制备的薄膜耐磨损性能较好,其中Ta离子注入后沉积的Ta/TaN多层膜耐磨性能最好.说明此种工艺有效整合了两种工艺的优点,有利于薄膜力学性能的改善.
採用微波增彊的反應磁控濺射和離子註入法以及兩者相結閤的工藝製備瞭TaN繫薄膜.通過X射線衍射(XRD)分析瞭薄膜的晶體結構,用微磨損儀和白光輪廓儀對樣品的摩抆繫數和磨損情況進行瞭檢測和分析.結果錶明,Ta離子註入與TaN沉積相結閤的方式製備的薄膜耐磨損性能較好,其中Ta離子註入後沉積的Ta/TaN多層膜耐磨性能最好.說明此種工藝有效整閤瞭兩種工藝的優點,有利于薄膜力學性能的改善.
채용미파증강적반응자공천사화리자주입법이급량자상결합적공예제비료TaN계박막.통과X사선연사(XRD)분석료박막적정체결구,용미마손의화백광륜곽의대양품적마찰계수화마손정황진행료검측화분석.결과표명,Ta리자주입여TaN침적상결합적방식제비적박막내마손성능교호,기중Ta리자주입후침적적Ta/TaN다층막내마성능최호.설명차충공예유효정합료량충공예적우점,유리우박막역학성능적개선.
