材料科学与工程学报
材料科學與工程學報
재료과학여공정학보
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING
2004年
1期
9-11
,共3页
宋永梁%季振国%王泉香%向因%叶志镇
宋永樑%季振國%王泉香%嚮因%葉誌鎮
송영량%계진국%왕천향%향인%협지진
ZnO薄膜%光致发光%溶胶-凝胶法%提拉法
ZnO薄膜%光緻髮光%溶膠-凝膠法%提拉法
ZnO박막%광치발광%용효-응효법%제랍법
采用溶胶-凝胶提拉法在石英玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明ZnO薄膜为纤锌矿结构并沿c轴择优取向生长.透射光谱表明薄膜的禁带宽度为3.28eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30eV基本相同.用荧光光谱分析了经过400～600℃热处理获得的ZnO薄膜,结果表明ZnO薄膜在室温下可获得较强的紫外带边发射.适当选择热处理温度可以获得无可见波段发射的ZnO薄膜.
採用溶膠-凝膠提拉法在石英玻璃襯底上生長瞭ZnO薄膜.對薄膜的XRD分析錶明ZnO薄膜為纖鋅礦結構併沿c軸擇優取嚮生長.透射光譜錶明薄膜的禁帶寬度為3.28eV,與ZnO體材料的禁帶寬度3.30eV基本相同.用熒光光譜分析瞭經過400～600℃熱處理穫得的ZnO薄膜,結果錶明ZnO薄膜在室溫下可穫得較彊的紫外帶邊髮射.適噹選擇熱處理溫度可以穫得無可見波段髮射的ZnO薄膜.
채용용효-응효제랍법재석영파리츤저상생장료ZnO박막.대박막적XRD분석표명ZnO박막위섬자광결구병연c축택우취향생장.투사광보표명박막적금대관도위3.28eV,여ZnO체재료적금대관도3.30eV기본상동.용형광광보분석료경과400～600℃열처리획득적ZnO박막,결과표명ZnO박막재실온하가획득교강적자외대변발사.괄당선택열처리온도가이획득무가견파단발사적ZnO박막.
