压电与声光
壓電與聲光
압전여성광
PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS
2005年
3期
324-327
,共4页
林日乐%谢佳维%蔡萍%翁邦英%董宏奎%赵建华%王瑞%张巧云
林日樂%謝佳維%蔡萍%翁邦英%董宏奎%趙建華%王瑞%張巧雲
림일악%사가유%채평%옹방영%동굉규%조건화%왕서%장교운
微机电系统%LIGA%先进硅刻蚀技术%石英晶体%湿法刻蚀
微機電繫統%LIGA%先進硅刻蝕技術%石英晶體%濕法刻蝕
미궤전계통%LIGA%선진규각식기술%석영정체%습법각식
微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术,包括表面微加工技术和体微加工技术.其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术.该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术,先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术.最后给出用LIGA技术和牺牲层技术制作微加速度传感器的例子.
微機電繫統(MEMS)技術的基礎是由微電子加工技術髮展起來的微結構加工技術,包括錶麵微加工技術和體微加工技術.其中體微加工技術是微傳感器、微執行器製造中最重要的加工技術.該文主要介紹以加工金屬、聚閤物以及陶瓷為主的LIGA技術,先進硅刻蝕技術(ASE)和石英晶體深槽濕法刻蝕技術.最後給齣用LIGA技術和犧牲層技術製作微加速度傳感器的例子.
미궤전계통(MEMS)기술적기출시유미전자가공기술발전기래적미결구가공기술,포괄표면미가공기술화체미가공기술.기중체미가공기술시미전감기、미집행기제조중최중요적가공기술.해문주요개소이가공금속、취합물이급도자위주적LIGA기술,선진규각식기술(ASE)화석영정체심조습법각식기술.최후급출용LIGA기술화희생층기술제작미가속도전감기적례자.
