人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2006年
3期
630-634
,共5页
朱慧群%丁瑞钦%王忆%吴桐庆
硃慧群%丁瑞欽%王憶%吳桐慶
주혜군%정서흠%왕억%오동경
射频磁控溅射%GaAs/SiO2纳米薄膜%氢掺杂%吸收光谱
射頻磁控濺射%GaAs/SiO2納米薄膜%氫摻雜%吸收光譜
사빈자공천사%GaAs/SiO2납미박막%경참잡%흡수광보
应用射频磁控溅射方法分别在抛光硅片和石英玻璃片上分层沉积了GaAs/SiO2纳米薄膜.通过X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)及吸收光谱的测试,发现衬底温度、退火、氢掺杂等制备工艺对分层沉积的GaAs/SiO2纳米薄膜的微观结构和光学性质有明显的影响.本文对相关机理作了探讨.
應用射頻磁控濺射方法分彆在拋光硅片和石英玻璃片上分層沉積瞭GaAs/SiO2納米薄膜.通過X射線衍射(XRD)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描電子顯微鏡(SEM)及吸收光譜的測試,髮現襯底溫度、退火、氫摻雜等製備工藝對分層沉積的GaAs/SiO2納米薄膜的微觀結構和光學性質有明顯的影響.本文對相關機理作瞭探討.
응용사빈자공천사방법분별재포광규편화석영파리편상분층침적료GaAs/SiO2납미박막.통과X사선연사(XRD)、원자력현미경(AFM)、소묘전자현미경(SEM)급흡수광보적측시,발현츤저온도、퇴화、경참잡등제비공예대분층침적적GaAs/SiO2납미박막적미관결구화광학성질유명현적영향.본문대상관궤리작료탐토.
