功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2007年
6期
931-933
,共3页
宋超%杨瑞东%冯林永%陈寒娴%邓荣斌%王国宁%杨宇
宋超%楊瑞東%馮林永%陳寒嫻%鄧榮斌%王國寧%楊宇
송초%양서동%풍림영%진한한%산영빈%왕국저%양우
离子束溅射%Ge薄膜%Ar+能量%结晶性
離子束濺射%Ge薄膜%Ar+能量%結晶性
리자속천사%Ge박막%Ar+능량%결정성
采用离子束溅射技术在不同Ar+能量下溅射Ge单层膜.用Raman光谱和AFM图谱对薄膜进行表征,得到Ge薄膜结晶性和晶粒大小随Ar+能量变化的波动性关系.在0.6keV的Ar+能量下,得到晶粒较小的Ge晶化薄膜,0.8keV能量下,Ge薄膜为非晶结构,1.0keV能量下,得到晶粒较大的Ge晶化薄膜.通过对沉积原子数与沉积原子能量的分析,解释了这一波动性变化.
採用離子束濺射技術在不同Ar+能量下濺射Ge單層膜.用Raman光譜和AFM圖譜對薄膜進行錶徵,得到Ge薄膜結晶性和晶粒大小隨Ar+能量變化的波動性關繫.在0.6keV的Ar+能量下,得到晶粒較小的Ge晶化薄膜,0.8keV能量下,Ge薄膜為非晶結構,1.0keV能量下,得到晶粒較大的Ge晶化薄膜.通過對沉積原子數與沉積原子能量的分析,解釋瞭這一波動性變化.
채용리자속천사기술재불동Ar+능량하천사Ge단층막.용Raman광보화AFM도보대박막진행표정,득도Ge박막결정성화정립대소수Ar+능량변화적파동성관계.재0.6keV적Ar+능량하,득도정립교소적Ge정화박막,0.8keV능량하,Ge박막위비정결구,1.0keV능량하,득도정립교대적Ge정화박막.통과대침적원자수여침적원자능량적분석,해석료저일파동성변화.
