传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2010年
9期
1256-1260
,共5页
压力传感器%Fe基非晶态合金%压磁效应%低压试验
壓力傳感器%Fe基非晶態閤金%壓磁效應%低壓試驗
압력전감기%Fe기비정태합금%압자효응%저압시험
为提高压力传感器温度稳定性,对一种利用Fe基非晶态合金压磁效应的薄膜压力传感器进行了可行性研究.论述了这种传感器的结构、工作原理、输出特性以及主要参数的选择.通过负压标定试验,分析了传感器的静态特性以及温度对输出的影响.试验结果表明,设计的传感器最大静态误差为1.17%,最大灵敏度为0.737 4 mV/ kPa,温度零点漂移为0 936%F.S/℃.另外,传感器结构简单,工作可靠,在低压力检测时,温度稳定性高.
為提高壓力傳感器溫度穩定性,對一種利用Fe基非晶態閤金壓磁效應的薄膜壓力傳感器進行瞭可行性研究.論述瞭這種傳感器的結構、工作原理、輸齣特性以及主要參數的選擇.通過負壓標定試驗,分析瞭傳感器的靜態特性以及溫度對輸齣的影響.試驗結果錶明,設計的傳感器最大靜態誤差為1.17%,最大靈敏度為0.737 4 mV/ kPa,溫度零點漂移為0 936%F.S/℃.另外,傳感器結構簡單,工作可靠,在低壓力檢測時,溫度穩定性高.
위제고압력전감기온도은정성,대일충이용Fe기비정태합금압자효응적박막압력전감기진행료가행성연구.논술료저충전감기적결구、공작원리、수출특성이급주요삼수적선택.통과부압표정시험,분석료전감기적정태특성이급온도대수출적영향.시험결과표명,설계적전감기최대정태오차위1.17%,최대령민도위0.737 4 mV/ kPa,온도영점표이위0 936%F.S/℃.령외,전감기결구간단,공작가고,재저압력검측시,온도은정성고.
