北京科技大学学报
北京科技大學學報
북경과기대학학보
JOURNAL OF UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY BEIJING
2002年
2期
143-148
,共6页
安希忠%张禹%刘国权%秦湘阁%王辅忠%刘胜新
安希忠%張禹%劉國權%秦湘閣%王輔忠%劉勝新
안희충%장우%류국권%진상각%왕보충%류성신
金刚石膜%化学气相沉积%动力学Monte Carlo%原子尺度模拟%表面反应模型
金剛石膜%化學氣相沉積%動力學Monte Carlo%原子呎度模擬%錶麵反應模型
금강석막%화학기상침적%동역학Monte Carlo%원자척도모의%표면반응모형
运用动力学蒙特卡洛(KMC)方法从原子尺度对CVD金刚石膜{100}取向在3种不同化学反应模型下的生长进行了仿真.结果表明:(1)以CH3为主要生长组元的生长机制比较适合于{100}取向金刚石膜的生长;(2) 对金刚石{100}取向而言,含有双碳基团的模型沉积速度并不比含有单碳基团的模型沉积速度大;(3)在高的生长速率下仍有可能获得表面粗糙度较小的金刚石膜;(4)对Harris模型的仿真结果与其本人的预测结果一致,并与实验结果符合良好.
運用動力學矇特卡洛(KMC)方法從原子呎度對CVD金剛石膜{100}取嚮在3種不同化學反應模型下的生長進行瞭倣真.結果錶明:(1)以CH3為主要生長組元的生長機製比較適閤于{100}取嚮金剛石膜的生長;(2) 對金剛石{100}取嚮而言,含有雙碳基糰的模型沉積速度併不比含有單碳基糰的模型沉積速度大;(3)在高的生長速率下仍有可能穫得錶麵粗糙度較小的金剛石膜;(4)對Harris模型的倣真結果與其本人的預測結果一緻,併與實驗結果符閤良好.
운용동역학몽특잡락(KMC)방법종원자척도대CVD금강석막{100}취향재3충불동화학반응모형하적생장진행료방진.결과표명:(1)이CH3위주요생장조원적생장궤제비교괄합우{100}취향금강석막적생장;(2) 대금강석{100}취향이언,함유쌍탄기단적모형침적속도병불비함유단탄기단적모형침적속도대;(3)재고적생장속솔하잉유가능획득표면조조도교소적금강석막;(4)대Harris모형적방진결과여기본인적예측결과일치,병여실험결과부합량호.
