传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2003年
4期
480-482,486
,共4页
软光刻%柔性微图形成型技术%柔性电子器件
軟光刻%柔性微圖形成型技術%柔性電子器件
연광각%유성미도형성형기술%유성전자기건
柔性微图形成型技术是微细加工技术的一个新的方向.介绍了一种新的柔性成型系统--三维定位压控微流系统,并用它制作了柔性微五边形、六边形和微沟道.
柔性微圖形成型技術是微細加工技術的一箇新的方嚮.介紹瞭一種新的柔性成型繫統--三維定位壓控微流繫統,併用它製作瞭柔性微五邊形、六邊形和微溝道.
유성미도형성형기술시미세가공기술적일개신적방향.개소료일충신적유성성형계통--삼유정위압공미류계통,병용타제작료유성미오변형、륙변형화미구도.
