清华大学学报(自然科学版)
清華大學學報(自然科學版)
청화대학학보(자연과학판)
Journal of Tsinghua University
2003年
11期
1441-1443
,共3页
侯亚奇%庄大明%张弓%赵明%吴敏生
侯亞奇%莊大明%張弓%趙明%吳敏生
후아기%장대명%장궁%조명%오민생
薄膜光学%TiO2薄膜%中频交流磁控溅射%退火
薄膜光學%TiO2薄膜%中頻交流磁控濺射%退火
박막광학%TiO2박막%중빈교류자공천사%퇴화
为确定合适的TiO2薄膜退火工艺,研究了退火温度对采用中频交流反应磁控溅射技术制备的TiO2薄膜光学性能的影响.利用分光光度计测得石英玻璃基体TiO2薄膜试样的透射谱和反射谱,用包络线法和经验公式法计算出薄膜的光学常数.结果表明: TiO2薄膜的折射率随退火温度的上升而增加,低温退火时薄膜消光系数略有减小, 500 ℃退火时TiO2薄膜具有最优的光学性能.
為確定閤適的TiO2薄膜退火工藝,研究瞭退火溫度對採用中頻交流反應磁控濺射技術製備的TiO2薄膜光學性能的影響.利用分光光度計測得石英玻璃基體TiO2薄膜試樣的透射譜和反射譜,用包絡線法和經驗公式法計算齣薄膜的光學常數.結果錶明: TiO2薄膜的摺射率隨退火溫度的上升而增加,低溫退火時薄膜消光繫數略有減小, 500 ℃退火時TiO2薄膜具有最優的光學性能.
위학정합괄적TiO2박막퇴화공예,연구료퇴화온도대채용중빈교류반응자공천사기술제비적TiO2박막광학성능적영향.이용분광광도계측득석영파리기체TiO2박막시양적투사보화반사보,용포락선법화경험공식법계산출박막적광학상수.결과표명: TiO2박막적절사솔수퇴화온도적상승이증가,저온퇴화시박막소광계수략유감소, 500 ℃퇴화시TiO2박막구유최우적광학성능.
