稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2004年
3期
558-562
,共5页
刘力锋%陈诺夫%张富强%陈晨龙%李艳丽%杨少延%刘志凯
劉力鋒%陳諾伕%張富彊%陳晨龍%李豔麗%楊少延%劉誌凱
류력봉%진낙부%장부강%진신룡%리염려%양소연%류지개
低能离子束%硅%铁%薄膜
低能離子束%硅%鐵%薄膜
저능리자속%규%철%박막
利用质量分离的低能离子束技术,获得了Fe组分渐变的Fe-Si薄膜.利用俄歇电子能谱法(AES)、 X射线衍射法(XRD)以及X射线光电子能谱法(XPS)测试了薄膜的组分、结构特性.测试结果表明,在室温下制备的Fe-Si薄膜呈非晶态.非晶薄膜在400 ℃下退火20 min后晶化,没有Fe的硅化物相形成.退火后Fe-Si薄膜的Fe组分从表面向内部逐渐降低.
利用質量分離的低能離子束技術,穫得瞭Fe組分漸變的Fe-Si薄膜.利用俄歇電子能譜法(AES)、 X射線衍射法(XRD)以及X射線光電子能譜法(XPS)測試瞭薄膜的組分、結構特性.測試結果錶明,在室溫下製備的Fe-Si薄膜呈非晶態.非晶薄膜在400 ℃下退火20 min後晶化,沒有Fe的硅化物相形成.退火後Fe-Si薄膜的Fe組分從錶麵嚮內部逐漸降低.
이용질량분리적저능리자속기술,획득료Fe조분점변적Fe-Si박막.이용아헐전자능보법(AES)、 X사선연사법(XRD)이급X사선광전자능보법(XPS)측시료박막적조분、결구특성.측시결과표명,재실온하제비적Fe-Si박막정비정태.비정박막재400 ℃하퇴화20 min후정화,몰유Fe적규화물상형성.퇴화후Fe-Si박막적Fe조분종표면향내부축점강저.
