光学精密工程
光學精密工程
광학정밀공정
OPTICS AND PRECISION ENGINEERING
2005年
3期
272-275
,共4页
齐立红%李忠芳%尼启良%陈波
齊立紅%李忠芳%尼啟良%陳波
제립홍%리충방%니계량%진파
激光等离子体光源%光谱测量%软X射线%水靶
激光等離子體光源%光譜測量%軟X射線%水靶
격광등리자체광원%광보측량%연X사선%수파
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线-极紫外辐射.利用McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20 nm波段水靶激光等离子体光源的光谱.实验表明,在11～20 nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生.所用单色仪光谱分辨率△λ≤0.075 nm,波长扫描间隔0.5 nm.另外,采用在喷嘴处加热的办法,很好地解决了水进入真空系统后绝热膨胀与蒸发过程中温度骤降而结冰的问题,有效地抑制了喷射距离缩短,克服了等离子体对喷嘴腐蚀严重的问题.
實驗以水為靶材,Nd:YAG激光器為照射激光構成激光等離子體光源,產生軟X射線-極紫外輻射.利用McPHERSON 247型掠入射軟X射線-真空紫外單色儀、AXUV100硅光電二極管,測量瞭11～20 nm波段水靶激光等離子體光源的光譜.實驗錶明,在11～20 nm波段水靶激光等離子體光源存在多條線譜,均由水中氧離子電子躍遷產生.所用單色儀光譜分辨率△λ≤0.075 nm,波長掃描間隔0.5 nm.另外,採用在噴嘴處加熱的辦法,很好地解決瞭水進入真空繫統後絕熱膨脹與蒸髮過程中溫度驟降而結冰的問題,有效地抑製瞭噴射距離縮短,剋服瞭等離子體對噴嘴腐蝕嚴重的問題.
실험이수위파재,Nd:YAG격광기위조사격광구성격광등리자체광원,산생연X사선-겁자외복사.이용McPHERSON 247형략입사연X사선-진공자외단색의、AXUV100규광전이겁관,측량료11～20 nm파단수파격광등리자체광원적광보.실험표명,재11～20 nm파단수파격광등리자체광원존재다조선보,균유수중양리자전자약천산생.소용단색의광보분변솔△λ≤0.075 nm,파장소묘간격0.5 nm.령외,채용재분취처가열적판법,흔호지해결료수진입진공계통후절열팽창여증발과정중온도취강이결빙적문제,유효지억제료분사거리축단,극복료등리자체대분취부식엄중적문제.
