兵工学报
兵工學報
병공학보
ACTA ARMAMENTARII
2008年
4期
495-499
,共5页
吕玉山%张辽远%王军%冯连东
呂玉山%張遼遠%王軍%馮連東
려옥산%장료원%왕군%풍련동
材料表面与界面%化学机械抛光%单晶硅片%接触压强分布%平面度误差
材料錶麵與界麵%化學機械拋光%單晶硅片%接觸壓彊分佈%平麵度誤差
재료표면여계면%화학궤계포광%단정규편%접촉압강분포%평면도오차
为了获得单晶硅片化学机械抛光过程中背垫对接触压强分布的影响规律,建立了有背垫抛光过程的接触力学模型和边界条件,利用有限元方法进行了有背垫时的接触压强分布的计算与分析,并利用抛光实验对计算结果进行了验证,获得了硅片与抛光垫的接触表面压强分布形态,以及背垫的物理参数对压强分布的影响规律.结果表明,在有背垫时接触压强的分布仍存在不均匀性,而且在硅片外径邻域内接触压强最大,这导致了被加工硅片产生平面度误差与塌边.增加背垫的弹性模量和泊松比,可以改善接触表面压强分布均匀性,使硅片有效区域的平面度形貌变得更好.
為瞭穫得單晶硅片化學機械拋光過程中揹墊對接觸壓彊分佈的影響規律,建立瞭有揹墊拋光過程的接觸力學模型和邊界條件,利用有限元方法進行瞭有揹墊時的接觸壓彊分佈的計算與分析,併利用拋光實驗對計算結果進行瞭驗證,穫得瞭硅片與拋光墊的接觸錶麵壓彊分佈形態,以及揹墊的物理參數對壓彊分佈的影響規律.結果錶明,在有揹墊時接觸壓彊的分佈仍存在不均勻性,而且在硅片外徑鄰域內接觸壓彊最大,這導緻瞭被加工硅片產生平麵度誤差與塌邊.增加揹墊的彈性模量和泊鬆比,可以改善接觸錶麵壓彊分佈均勻性,使硅片有效區域的平麵度形貌變得更好.
위료획득단정규편화학궤계포광과정중배점대접촉압강분포적영향규률,건립료유배점포광과정적접촉역학모형화변계조건,이용유한원방법진행료유배점시적접촉압강분포적계산여분석,병이용포광실험대계산결과진행료험증,획득료규편여포광점적접촉표면압강분포형태,이급배점적물리삼수대압강분포적영향규률.결과표명,재유배점시접촉압강적분포잉존재불균균성,이차재규편외경린역내접촉압강최대,저도치료피가공규편산생평면도오차여탑변.증가배점적탄성모량화박송비,가이개선접촉표면압강분포균균성,사규편유효구역적평면도형모변득경호.
