物理学报
物理學報
물이학보
2008年
6期
3813-3817
,共5页
方方%郑时有%周广有%陈国荣%孙大林
方方%鄭時有%週廣有%陳國榮%孫大林
방방%정시유%주엄유%진국영%손대림
薄膜%光电性能%氢%形貌
薄膜%光電性能%氫%形貌
박막%광전성능%경%형모
采用电子束蒸发法沉积LaNi/Mg多层膜,再于350℃真空退火合金化的方法制备了厚度为375nm的LaMg2Ni合金薄膜.在吸、放氢过程中,该合金薄膜能够在高反射的金属态和透明的半导体态之间可逆地转变.在可见光波长范围内的平均透射率和电阻率在反射态和透明态之间的对比度大于104.利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了吸放氢前后薄膜的表面及剖面形貌.结果表明,在氢化过程中薄膜表面的平整性降低且不可恢复,是脱氢态中出现低反射现象的主要原因.
採用電子束蒸髮法沉積LaNi/Mg多層膜,再于350℃真空退火閤金化的方法製備瞭厚度為375nm的LaMg2Ni閤金薄膜.在吸、放氫過程中,該閤金薄膜能夠在高反射的金屬態和透明的半導體態之間可逆地轉變.在可見光波長範圍內的平均透射率和電阻率在反射態和透明態之間的對比度大于104.利用掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡觀察瞭吸放氫前後薄膜的錶麵及剖麵形貌.結果錶明,在氫化過程中薄膜錶麵的平整性降低且不可恢複,是脫氫態中齣現低反射現象的主要原因.
채용전자속증발법침적LaNi/Mg다층막,재우350℃진공퇴화합금화적방법제비료후도위375nm적LaMg2Ni합금박막.재흡、방경과정중,해합금박막능구재고반사적금속태화투명적반도체태지간가역지전변.재가견광파장범위내적평균투사솔화전조솔재반사태화투명태지간적대비도대우104.이용소묘전자현미경화원자력현미경관찰료흡방경전후박막적표면급부면형모.결과표명,재경화과정중박막표면적평정성강저차불가회복,시탈경태중출현저반사현상적주요원인.
