柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究
유성신경미전겁진렬설계급미가공공예연구
Key Design of Flexible Neural Microelectrode Arrays and Its Microfabrication Process
  • 万方数据
    微细加工技术 미세가공기술
    MICROFABRICATION TECHNOLOGY
    2008年 2期 43-47 ,共5页

    吴义伯%邢玉梅%倪鹤南%徐爱兰%惠春%任秋实%李刚

    오의백%형옥매%예학남%서애란%혜춘%임추실%리강

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    采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.
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