CAJ | 학술논문

利用磁控溅射和光刻技术在玻璃基底上制备薄膜型平栅极场发射阴极阵列,采用电泳工艺将碳纳米管(CNTs)发射材料转移到薄膜型平栅结构的阴极电极表面,借助光学显微镜和扫描电镜观测薄膜型平栅极场发射阴极阵列.利用Ansys软件模拟阴栅间距对阴极表面电场分布的影响,优化其结构参数,对其场发射特性进行了讨论.实验结果表明,CNTs能均匀地分散在平栅型结构的阴极表面,当电场强度为2.4 V/μm时,器件发射电流密度达到1.8 mA/cm2,亮度达3 000cd/m2,均匀性为90%,能稳定发射28 h,且具有较好的栅控作用.该薄膜型平栅极背光源技术简单、成本低,为将来制备新一代大面积场发射背光源提供了可行性方案.
이용자공천사화광각기술재파리기저상제비박막형평책겁장발사음겁진렬,채용전영공예장탄납미관(CNTs)발사재료전이도박막형평책결구적음겁전겁표면,차조광학현미경화소묘전경관측박막형평책겁장발사음겁진렬.이용Ansys연건모의음책간거대음겁표면전장분포적영향,우화기결구삼수,대기장발사특성진행료토론.실험결과표명,CNTs능균균지분산재평책형결구적음겁표면,당전장강도위2.4 V/μm시,기건발사전류밀도체도1.8 mA/cm2,량도체3 000cd/m2,균균성위90%,능은정발사28 h,차구유교호적책공작용.해박막형평책겁배광원기술간단、성본저,위장래제비신일대대면적장발사배광원제공료가행성방안.