0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
0.5μm CMOS부식공예연구
Etch Process of 0.5 μm CMOS
  • 万方数据
    电子与封装 전자여봉장
    EIECTRONICS AND PACKAGING
    2002年 5期 1-10 ,共10页

    莫科伟%刘丽艳%周彬%吴洪强

    막과위%류려염%주빈%오홍강

    CMOS%腐蚀工艺%模块 CMOS%腐蝕工藝%模塊
    CMOS%부식공예%모괴
    本文主要介绍了0.5μm CMOS工艺中一些腐蚀模块的工艺.
    본문주요개소료0.5μm CMOS공예중일사부식모괴적공예.
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