半导体技术
半導體技術
반도체기술
SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY
1999年
6期
29-32
,共4页
朱兆%阮刚%冒慧敏%庞海舟
硃兆%阮剛%冒慧敏%龐海舟
주조%원강%모혜민%방해주
集成电路%工艺模拟%软件应用
集成電路%工藝模擬%軟件應用
집성전로%공예모의%연건응용
采用集成电路工艺模拟软件SSUPREM4模拟了氧化、扩散工艺,并同实验值进行了比较,模拟值和实验值的偏差在10%以内.与集成电路器件模拟软件S-PISCES联用模拟了SSUPREM4的全工序,并把它应用于实际生产.结果表明SSUPREM4有较大应用价值.
採用集成電路工藝模擬軟件SSUPREM4模擬瞭氧化、擴散工藝,併同實驗值進行瞭比較,模擬值和實驗值的偏差在10%以內.與集成電路器件模擬軟件S-PISCES聯用模擬瞭SSUPREM4的全工序,併把它應用于實際生產.結果錶明SSUPREM4有較大應用價值.
채용집성전로공예모의연건SSUPREM4모의료양화、확산공예,병동실험치진행료비교,모의치화실험치적편차재10%이내.여집성전로기건모의연건S-PISCES련용모의료SSUPREM4적전공서,병파타응용우실제생산.결과표명SSUPREM4유교대응용개치.
