实验技术与管理
實驗技術與管理
실험기술여관리
EXPERIMENTAL TECHNOLOGY AND MANAGEMENT
2003年
6期
15-19
,共5页
刘朋%王水弟%杨宝和%陈为红
劉朋%王水弟%楊寶和%陳為紅
류붕%왕수제%양보화%진위홍
超大规模集成电路%超纯水%流程%水质
超大規模集成電路%超純水%流程%水質
초대규모집성전로%초순수%류정%수질
本文介绍了一套超大规模集成电路(VLSI)用10m3/h超纯水系统的设计要点.经实际运行,性能稳定、操作简单、自动化程度高,有很好的示范作用.
本文介紹瞭一套超大規模集成電路(VLSI)用10m3/h超純水繫統的設計要點.經實際運行,性能穩定、操作簡單、自動化程度高,有很好的示範作用.
본문개소료일투초대규모집성전로(VLSI)용10m3/h초순수계통적설계요점.경실제운행,성능은정、조작간단、자동화정도고,유흔호적시범작용.
