福建师范大学学报(自然科学版)
福建師範大學學報(自然科學版)
복건사범대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF FUJIAN TEACHERS UNIVERSITY（NATURAL SCIENCE）
2004年
2期
49-51
,共3页
湿敏%薄膜%二氧化钛%氟化镁
濕敏%薄膜%二氧化鈦%氟化鎂
습민%박막%이양화태%불화미
采用真空镀膜技术制备TiO2与TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:掺杂适量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜湿敏元件,工作频率为100 Hz时,在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.
採用真空鍍膜技術製備TiO2與TiO2∶MgF2薄膜濕敏元件,仔細研究瞭薄膜濕敏元件的感濕特性.結果錶明:摻雜適量MgF2的TiO2∶MgF2薄膜濕敏元件,工作頻率為100 Hz時,在全濕度範圍內具有良好的阻抗-濕度特性,感濕特性麯線線性良好;元件具有靈敏度高,滯後小,響應快,長期穩定性好等優點.
채용진공도막기술제비TiO2여TiO2∶MgF2박막습민원건,자세연구료박막습민원건적감습특성.결과표명:참잡괄량MgF2적TiO2∶MgF2박막습민원건,공작빈솔위100 Hz시,재전습도범위내구유량호적조항-습도특성,감습특성곡선선성량호;원건구유령민도고,체후소,향응쾌,장기은정성호등우점.
