具有复合埋层的新型SIMON材料的制备
구유복합매층적신형SIMON재료적제비
Comparison of Fabrication Techniques of SIMON Materials with Buried Multi-Layers
  • 万方数据
    半导体学报 반도체학보
    CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
    2004年 7期 814-818 ,共5页

    易万兵%陈猛%张恩霞%刘相华%陈静%董业民%金波%刘忠立%王曦

    역만병%진맹%장은하%류상화%진정%동업민%금파%류충립%왕희

    SIMON%SOI%氮氧共注入 SIMON%SOI%氮氧共註入
    SIMON%SOI%담양공주입
    采用氮氧共注入方法制备了新型的SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen)SOI材料.采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析,发现SIMON材料的结构和质量对注入条件和退火工艺非常敏感.并对各种氮氧复合注入技术做了分析和比较,发现氮氧分次注入可以得到更好的结构和性能.
    채용담양공주입방법제비료신형적SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen)SOI재료.채용불동적제비방법분별제작출양품병진행료결구측시화분석,발현SIMON재료적결구화질량대주입조건화퇴화공예비상민감.병대각충담양복합주입기술주료분석화비교,발현담양분차주입가이득도경호적결구화성능.
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