半导体学报
半導體學報
반도체학보
CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORS
2007年
2期
280-283
,共4页
吴旭明%王小东%何国荣%王青%曹玉莲%谭满清
吳旭明%王小東%何國榮%王青%曹玉蓮%譚滿清
오욱명%왕소동%하국영%왕청%조옥련%담만청
微光机电系统%可调谐%变形%梯度应力
微光機電繫統%可調諧%變形%梯度應力
미광궤전계통%가조해%변형%제도응력
InP基微光机电系统(MOEMS)可调谐器件的梁在实验中常出现弯曲变形的现象,其原因是在生长的时候,As原子进入InP梁,产生了内部梯度应力.使用有限元分析软件,建立了一种无须测量内部应力的模拟梁变形的方法.模拟了单臂梁和双臂梁的弯曲变形情况,理论与实验吻合.研究了As原子浓度和梁厚度对梁变形情况的影响,结果表明降低As原子浓度和增大梁厚度都有助于抑制梁的变形.
InP基微光機電繫統(MOEMS)可調諧器件的樑在實驗中常齣現彎麯變形的現象,其原因是在生長的時候,As原子進入InP樑,產生瞭內部梯度應力.使用有限元分析軟件,建立瞭一種無鬚測量內部應力的模擬樑變形的方法.模擬瞭單臂樑和雙臂樑的彎麯變形情況,理論與實驗吻閤.研究瞭As原子濃度和樑厚度對樑變形情況的影響,結果錶明降低As原子濃度和增大樑厚度都有助于抑製樑的變形.
InP기미광궤전계통(MOEMS)가조해기건적량재실험중상출현만곡변형적현상,기원인시재생장적시후,As원자진입InP량,산생료내부제도응력.사용유한원분석연건,건립료일충무수측량내부응력적모의량변형적방법.모의료단비량화쌍비량적만곡변형정황,이론여실험문합.연구료As원자농도화량후도대량변형정황적영향,결과표명강저As원자농도화증대량후도도유조우억제량적변형.
