电子元件与材料
電子元件與材料
전자원건여재료
ELECTRONIC COMPONENTS & MATERIALS
2010年
6期
4-6
,共3页
娄非志%杨传仁%杨莉军%张继华%陈宏伟
婁非誌%楊傳仁%楊莉軍%張繼華%陳宏偉
루비지%양전인%양리군%장계화%진굉위
La0.6sr0.4CoO3薄膜%RF磁控溅射法%结晶性能%NTC特性
La0.6sr0.4CoO3薄膜%RF磁控濺射法%結晶性能%NTC特性
La0.6sr0.4CoO3박막%RF자공천사법%결정성능%NTC특성
为研制具有较低室温电阻值的NTC薄膜热敏电阻,以La0 6Sr0.4CoO3陶瓷为靶材,采用RF磁控溅射法,在Al2O3基片上沉积了La0.6sr0.4CoO3(LSCO)薄膜.研究了溅射过程中氩氧体积流量比对LSCO薄膜结晶性能和方阻的影响以及LSCO薄膜的阻温特性.结果表明:随着氩氧体积流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰强度及方阻均先增大后减小.LSCO薄膜具有显著的NTC特性,室温时的电阻温度系数α25为2.24×10-5;其InR-T-1曲线具备良好的线形度,线性偏差仅为2.09%;另外,其室温时的电阻R25仅为18.75 kΩ.
為研製具有較低室溫電阻值的NTC薄膜熱敏電阻,以La0 6Sr0.4CoO3陶瓷為靶材,採用RF磁控濺射法,在Al2O3基片上沉積瞭La0.6sr0.4CoO3(LSCO)薄膜.研究瞭濺射過程中氬氧體積流量比對LSCO薄膜結晶性能和方阻的影響以及LSCO薄膜的阻溫特性.結果錶明:隨著氬氧體積流量比的增加,LSCO薄膜的主晶相衍射峰彊度及方阻均先增大後減小.LSCO薄膜具有顯著的NTC特性,室溫時的電阻溫度繫數α25為2.24×10-5;其InR-T-1麯線具備良好的線形度,線性偏差僅為2.09%;另外,其室溫時的電阻R25僅為18.75 kΩ.
위연제구유교저실온전조치적NTC박막열민전조,이La0 6Sr0.4CoO3도자위파재,채용RF자공천사법,재Al2O3기편상침적료La0.6sr0.4CoO3(LSCO)박막.연구료천사과정중아양체적류량비대LSCO박막결정성능화방조적영향이급LSCO박막적조온특성.결과표명:수착아양체적류량비적증가,LSCO박막적주정상연사봉강도급방조균선증대후감소.LSCO박막구유현저적NTC특성,실온시적전조온도계수α25위2.24×10-5;기InR-T-1곡선구비량호적선형도,선성편차부위2.09%;령외,기실온시적전조R25부위18.75 kΩ.
