传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
6期
77-79
,共3页
张洪泉%乔英杰%汪洋%范茂军
張洪泉%喬英傑%汪洋%範茂軍
장홍천%교영걸%왕양%범무군
微悬梁%Al2O3模板%催化%汽油传感器
微懸樑%Al2O3模闆%催化%汽油傳感器
미현량%Al2O3모판%최화%기유전감기
提出了利用MEMS技术将电化学生长的Al2O3模板加工成传感器的微悬梁结构,并将其用于催化燃烧式气体传感器结构的基底.采用平面薄膜工艺制作出铂薄膜敏感电阻器,涂敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt-Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感桥臂和温湿度补偿桥臂,从而制作出汽油传感器.测试结果表明:传感器可实现汽油体积分数为(0-15)×10-3的检测(标准气为己烷),且具有线性输出特性.同时对汽油传感器的工作初始稳定性和长期稳定性问题进行了研究.
提齣瞭利用MEMS技術將電化學生長的Al2O3模闆加工成傳感器的微懸樑結構,併將其用于催化燃燒式氣體傳感器結構的基底.採用平麵薄膜工藝製作齣鉑薄膜敏感電阻器,塗敷Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt-Pd和Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO形成催化敏感橋臂和溫濕度補償橋臂,從而製作齣汽油傳感器.測試結果錶明:傳感器可實現汽油體積分數為(0-15)×10-3的檢測(標準氣為己烷),且具有線性輸齣特性.同時對汽油傳感器的工作初始穩定性和長期穩定性問題進行瞭研究.
제출료이용MEMS기술장전화학생장적Al2O3모판가공성전감기적미현량결구,병장기용우최화연소식기체전감기결구적기저.채용평면박막공예제작출박박막민감전조기,도부Al2O3-ZrO2-ThO2-Pt-Pd화Al2O3-ZrO2-ThO2-PbO형성최화민감교비화온습도보상교비,종이제작출기유전감기.측시결과표명:전감기가실현기유체적분수위(0-15)×10-3적검측(표준기위기완),차구유선성수출특성.동시대기유전감기적공작초시은정성화장기은정성문제진행료연구.
