红外
紅外
홍외
INFRARED
2011年
8期
8-11
,共4页
单兆会%高劲松%王彤彤%申振峰%陈红
單兆會%高勁鬆%王彤彤%申振峰%陳紅
단조회%고경송%왕동동%신진봉%진홍
低压反应离子镀%类金刚石薄膜%拉曼光谱%显微硬度
低壓反應離子鍍%類金剛石薄膜%拉曼光譜%顯微硬度
저압반응리자도%류금강석박막%랍만광보%현미경도
以Ar气作为工作气体,CH4作为反应气体,利用低压反应离子镀(RLVIP)技术在Ge基底上成功制备出类金刚石(DLC)薄膜.通过拉曼光谱、Perking Elmer GX型红外光谱仪和Nano Indenter XP型纳米压痕硬度测试计分别表征了类金刚石薄膜的微观结构、光学性能和机械性能.结果表明,类金刚石薄膜(ID /IG =0.918)具有较高的sp3键含量,其硬度值达到28.6 GPa,弹性模量为199.5 GPa;单层膜系在8～11.5μm波段的峰值透过率为63.6,平均透过率为62%.
以Ar氣作為工作氣體,CH4作為反應氣體,利用低壓反應離子鍍(RLVIP)技術在Ge基底上成功製備齣類金剛石(DLC)薄膜.通過拉曼光譜、Perking Elmer GX型紅外光譜儀和Nano Indenter XP型納米壓痕硬度測試計分彆錶徵瞭類金剛石薄膜的微觀結構、光學性能和機械性能.結果錶明,類金剛石薄膜(ID /IG =0.918)具有較高的sp3鍵含量,其硬度值達到28.6 GPa,彈性模量為199.5 GPa;單層膜繫在8～11.5μm波段的峰值透過率為63.6,平均透過率為62%.
이Ar기작위공작기체,CH4작위반응기체,이용저압반응리자도(RLVIP)기술재Ge기저상성공제비출류금강석(DLC)박막.통과랍만광보、Perking Elmer GX형홍외광보의화Nano Indenter XP형납미압흔경도측시계분별표정료류금강석박막적미관결구、광학성능화궤계성능.결과표명,류금강석박막(ID /IG =0.918)구유교고적sp3건함량,기경도치체도28.6 GPa,탄성모량위199.5 GPa;단층막계재8～11.5μm파단적봉치투과솔위63.6,평균투과솔위62%.
