红外与毫米波学报
紅外與毫米波學報
홍외여호미파학보
JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES
2011年
6期
511-513,550,555
,共5页
汪韬%杨瑾%尹飞%王警卫%胡雅楠%张立臣%殷景致
汪韜%楊瑾%尹飛%王警衛%鬍雅楠%張立臣%慇景緻
왕도%양근%윤비%왕경위%호아남%장립신%은경치
InAs/GaSb超晶格%禁带宽度%金属有机物化学气相淀积法(MOCVD)%原子力显微镜(AFM)%光致发光(PL)谱
InAs/GaSb超晶格%禁帶寬度%金屬有機物化學氣相澱積法(MOCVD)%原子力顯微鏡(AFM)%光緻髮光(PL)譜
InAs/GaSb초정격%금대관도%금속유궤물화학기상정적법(MOCVD)%원자력현미경(AFM)%광치발광(PL)보
用金属有机物化学气相淀积法(MOCVD)在GaSb衬底上生长InAs/GaSb超晶格,探索了最佳的生长厚度,优化了各种生长参数,并且分析了源流量控制的重要性.得到的超晶格材料的光致发光(PL)谱、X射线双晶衍射图以及表面形貌图表明,生长的超晶格材料可以响应10μm的长波,且具有良好的表面形貌和外延层质量.
用金屬有機物化學氣相澱積法(MOCVD)在GaSb襯底上生長InAs/GaSb超晶格,探索瞭最佳的生長厚度,優化瞭各種生長參數,併且分析瞭源流量控製的重要性.得到的超晶格材料的光緻髮光(PL)譜、X射線雙晶衍射圖以及錶麵形貌圖錶明,生長的超晶格材料可以響應10μm的長波,且具有良好的錶麵形貌和外延層質量.
용금속유궤물화학기상정적법(MOCVD)재GaSb츤저상생장InAs/GaSb초정격,탐색료최가적생장후도,우화료각충생장삼수,병차분석료원류량공제적중요성.득도적초정격재료적광치발광(PL)보、X사선쌍정연사도이급표면형모도표명,생장적초정격재료가이향응10μm적장파,차구유량호적표면형모화외연층질량.
