真空
真空
진공
VACUUM
2012年
2期
61-65
,共5页
李广%雷青松%薛俊明%杨瑞霞
李廣%雷青鬆%薛俊明%楊瑞霞
리엄%뢰청송%설준명%양서하
ZnO%透明导电薄膜%绒面结构%太阳能电池
ZnO%透明導電薄膜%絨麵結構%太暘能電池
ZnO%투명도전박막%융면결구%태양능전지
介绍了ZnO透明导电薄膜的基本特性,制备技术,其中磁控溅射技术和MOCVD技术是制备太阳能电池用ZnO透明导电薄膜的主流生长技术,论述了这两种制备技术的原理、技术特点、制备绒面ZnO薄膜的研究进展,并对ZnO透明导电薄膜的发展趋势做了展望.
介紹瞭ZnO透明導電薄膜的基本特性,製備技術,其中磁控濺射技術和MOCVD技術是製備太暘能電池用ZnO透明導電薄膜的主流生長技術,論述瞭這兩種製備技術的原理、技術特點、製備絨麵ZnO薄膜的研究進展,併對ZnO透明導電薄膜的髮展趨勢做瞭展望.
개소료ZnO투명도전박막적기본특성,제비기술,기중자공천사기술화MOCVD기술시제비태양능전지용ZnO투명도전박막적주류생장기술,논술료저량충제비기술적원리、기술특점、제비융면ZnO박막적연구진전,병대ZnO투명도전박막적발전추세주료전망.
