南昌大学学报（理科版）
南昌大學學報（理科版）
남창대학학보（이과판）
JOURNAL OF NANCHANG UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
2期
181-185
,共5页
李璠%李冬梅%戴江南%王立%蒲勇%方文卿%江风益
李璠%李鼕梅%戴江南%王立%蒲勇%方文卿%江風益
리번%리동매%대강남%왕립%포용%방문경%강풍익
ZnO%缓冲层%Ti/Si模板%MOCVD
ZnO%緩遲層%Ti/Si模闆%MOCVD
ZnO%완충층%Ti/Si모판%MOCVD
采用常压MOCVD法,以二乙基锌和去离子水为源,在不同厚度的ZnO缓冲层上生长了一组ZnO薄膜.分别采用X射线衍射(XRD)、干涉显微镜和光致发光谱(PL)对样品的结晶性能、表面形貌和发光性能进行分析,结果表明,随着缓冲层的引入,ZnO外延膜的质量得到很大提高,缓冲层的厚度对外延ZnO薄膜的质量有很大的影响,当缓冲层厚度为60 nm时,ZnO薄膜的结晶性能最好,表现出高度的择优取向,(002)面的ω摇摆曲线半峰全宽仅为1.72°,其表面平整,表现出二维生长的趋势,室温光致发光谱中只有与自由激子复合有关的近紫外发光峰,几乎观察不到与缺陷有关的深能级发光.
採用常壓MOCVD法,以二乙基鋅和去離子水為源,在不同厚度的ZnO緩遲層上生長瞭一組ZnO薄膜.分彆採用X射線衍射(XRD)、榦涉顯微鏡和光緻髮光譜(PL)對樣品的結晶性能、錶麵形貌和髮光性能進行分析,結果錶明,隨著緩遲層的引入,ZnO外延膜的質量得到很大提高,緩遲層的厚度對外延ZnO薄膜的質量有很大的影響,噹緩遲層厚度為60 nm時,ZnO薄膜的結晶性能最好,錶現齣高度的擇優取嚮,(002)麵的ω搖襬麯線半峰全寬僅為1.72°,其錶麵平整,錶現齣二維生長的趨勢,室溫光緻髮光譜中隻有與自由激子複閤有關的近紫外髮光峰,幾乎觀察不到與缺陷有關的深能級髮光.
채용상압MOCVD법,이이을기자화거리자수위원,재불동후도적ZnO완충층상생장료일조ZnO박막.분별채용X사선연사(XRD)、간섭현미경화광치발광보(PL)대양품적결정성능、표면형모화발광성능진행분석,결과표명,수착완충층적인입,ZnO외연막적질량득도흔대제고,완충층적후도대외연ZnO박막적질량유흔대적영향,당완충층후도위60 nm시,ZnO박막적결정성능최호,표현출고도적택우취향,(002)면적ω요파곡선반봉전관부위1.72°,기표면평정,표현출이유생장적추세,실온광치발광보중지유여자유격자복합유관적근자외발광봉,궤호관찰불도여결함유관적심능급발광.
