功能材料
功能材料
공능재료
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS
2008年
3期
417-419
,共3页
杜平凡%席珍强%汪新颜%金达莱%王勇
杜平凡%席珍彊%汪新顏%金達萊%王勇
두평범%석진강%왕신안%금체래%왕용
氮化硅薄膜%钢衬底%RF-PECVD%沉积速率
氮化硅薄膜%鋼襯底%RF-PECVD%沉積速率
담화규박막%강츤저%RF-PECVD%침적속솔
采用射频等离子体增强化学气相沉积法(RF-PECVD)在钢衬底上沉积氮化硅薄膜.用台阶仪、X射线光电子能谱(XPS)、透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)等手段对薄膜的厚度、成分、结构及形貌进行表征,并探讨了各工艺参数对薄膜沉积速率的影响.
採用射頻等離子體增彊化學氣相沉積法(RF-PECVD)在鋼襯底上沉積氮化硅薄膜.用檯階儀、X射線光電子能譜(XPS)、透射電鏡(TEM)和掃描電鏡(SEM)等手段對薄膜的厚度、成分、結構及形貌進行錶徵,併探討瞭各工藝參數對薄膜沉積速率的影響.
채용사빈등리자체증강화학기상침적법(RF-PECVD)재강츤저상침적담화규박막.용태계의、X사선광전자능보(XPS)、투사전경(TEM)화소묘전경(SEM)등수단대박막적후도、성분、결구급형모진행표정,병탐토료각공예삼수대박막침적속솔적영향.
